V光刻机光源采用他们团队搞出来的同步辐射EUV光源,和国外相比,同样的芯片,能耗是对方的二十倍,这样的结果是他不能接受的。
他想了很多方案,唯一靠谱的是能量的回收,可加入能量回收系统后,整个EUV光源系统将会变得极其复杂,最为关键的是,目前的能量回收系统只能回收百分之十的能量,这无法达到他的心理预期。
正想的时候,他手机响了,拿出来一看,是校长办公室给他发的邮件。
内容是让他参加上岭大学光学镜头研究中心的技术报告会。
看了光学镜头研究中心发的邀请函后,他不淡定了。
“这……这不会是乌龙吧!包正义他们第六次测试刚失败,这才几天,就突破了离子束抛光技术,这加工精度,比欧罗巴的蔡斯都强……不行,现在就买机票,我倒要看看是不是真的突破了。”司文博嘀咕着。
他随便吃了几口,把餐盘送到了回收区,就急匆匆的离开了食堂。
……
申城大江区申城微电子无尘工厂。
申城微电子总工程师潘飞鹏穿着无尘服,带着口罩和护目镜站在一台设备的显示屏前。
“不错!不错!这双工件台各种参数都可以了,上午就到这吧!大家准备去吃饭!”潘飞鹏看着显示屏上的参数,对着周围工程师们喊。
“吃饭了!”工程师们欢呼后陆陆续续的离开了。
现场就剩下潘飞鹏和他的助理柳天昊。
“EUV光刻机啊!三大难题,双工件台的问题解决了,EUV光源的问题也解决了,就剩下光学镜头了。”潘飞鹏有些失落,“我最看好包正义的研究团队,可他们的第六次测试也失败了,也不知道国内何时才能造出符合要求的光学镜头。”
“总工!清大搞出来的同步辐射EUV光源太耗能了,就算我们有了光学镜头,造出了EUV光刻机,在国际上也没有竞争力。”柳天昊直言。
“小柳!我们目前要解决的是有没有的问题,等我们有了,能制造了,那怕能耗高,也比现在这样随便让人家拿捏的好,至于竞争力,我们可以慢慢来。”潘飞鹏认真的说。
说着,两人来到了换衣间。
衣服换到一半的时候,潘飞鹏的手机响了,拿出来一看,是上岭大学光学镜头研究中心发来的邮件。
他心中一喜,可想到包正义他们第六次测试才失败,他又高兴不起来了。
带着疑惑点开了邮件。
是一份邀请函,当他看到DYN-离子束抛光技术技术报告会的时候,他意识到什么!
直接查看邮件的最后:
“第七次测试二组加工镜片镜面检测精度,镜面达到纳米的面型精度峰谷值和19皮米的表面粗糙度。”
看到这样的结果,他直接愣住了。
换完衣服的柳天昊发现了异常,他好奇的看向潘飞鹏手中的手机。
“这……这不可能吧!他们第六次测试才刚刚失败,这才几天,第七次测试就成功了,且这精度比欧罗巴的蔡斯都强,这不会是个乌龙吧!”柳天昊一脸的不敢相信。
“小柳!赶紧买机票,我们现在就去上岭大学,是真是假到了就知道了。”潘飞鹏收起手机,一边快速的换着衣服,一边说。
……
全国各地,收到上岭大学光学镜头研究中心邀请函的三十三家高校、企业、机构急忙忙的派人前往上岭大学。
路途近的坐高铁或者开车,远的坐飞机,甚至有包机的。
这些人之所以这么急,就是想确定上岭大学光学镜头研究中心是否真的突破了。
在这些人赶往上岭大学的时候,包正义、范晓明几人正喝着茶。
苏哲听着法务讲解协议的内容。
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